射频电源是产生等离子体的核心零部件，对等离子体加工设备的加工能力和加工效果影响显著。随着国内晶圆厂新增扩产和存量替换需求的增长，半导体薄膜沉积、刻蚀机等核心设备的市场空间打开，射频电源迎来了新的增长空间，并为国产射频电源商带来了新的发展机遇。
        近日，由中国检验检测学会标准工作组联合通标中恒标准化技术研究院共同组织的《射频电源技术要求》《等离子体用射频电源技术规范》两项团体标准启动会成功召开。

        会议由中国检验检测学会标准工作组王肸主持，标准工作组副组长张佳慧，标准工作组徐琳、邢辉出席会议。四川英杰电气股份有限公司、中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所、安徽曦融兆波科技有限公司、深圳市瀚强科技股份有限公司、江苏神州半导体科技有限公司、成都德芯数字科技股份有限公司、上海交通大学、点为射频（安徽）科技有限公司、深圳麦格米特电气股份有限公司、深圳市新凯来工业机器有限公司、江阴市天马电源制造有限公司、电子科技大学长三角研究院（湖州）、宁波小为智能科技有限公司、中国科学院电工研究所王秋良院士团队、深圳坤拓斯技术有限公司、深圳市格林瓦特科技有限公司、通标中恒标准化技术研究院等单位代表及相关行业专家参加本次启动会。

        会上，王肸就团体标准的发展历程及编制情况进行了详细介绍，徐琳和邢辉分别汇报了《射频电源技术要求》《等离子体用射频电源技术规范》两项团体标准的立项背景、编制原则、标准框架与标准工作计划，得到了参会代表的一致认可。
        在标准讨论环节，行业专家和参编单位代表围绕《射频电源技术要求》《等离子体用射频电源技术规范》团体标准的范围、规范性引用文件、术语和定义、使用条件、产品分类、技术要求等内容进行积极研讨，明确射频电源技术的电源波形、频率和功率等技术参数，以及在腔体中激发出的等离子体浓度、均匀度等关键指标，确保射频设备的性能和工作效果，加速射频电源技术标准化建设及国产化进程，以保障能源供应的稳定性和安全性，促进各领域提高电力效率和行业竞争力。
        会议最后，张佳慧副组长对本次会议进行总结发言。她表示，当前，射频电源技术已成为电力电子行业的重要发展方向，其在等离子体处理过程中的作用愈发凸显，能够为等离子体的产生、加速、控制和诊断提供必要的能量和支持。而建立完整的《射频电源技术要求》《等离子体用射频电源技术规范》团体标准，将进一步推动射频电源技术发展，提升我国在电力电子领域的核心竞争力，助力行业创新进步和可持续发展。
        与传统线性射频电源相比，射频电源具有低电力损耗、系统体积小型化等特点，被广泛应用于半导体工艺设备、LED与太阳能光伏行业、科学实验中的等离子体发生、射频感应加热等领域。随着科技的不断发展，射频电源在各领域的应用越来越广泛，其市场需求持续增长，为射频电源行业发展提供了更广阔的空间。
        特别是近年来，国家发改委、工信部等部门印发《中国能源发展战略三年行动计划》《制造业核心竞争力提升五年行动计划》等多项政策，强调了射频电源在能源转换和利用中的重要作用，鼓励制造企业采用先进的射频电源技术，提高生产效率和产品质量。在政策的推动下，科研机构和领军企业纷纷加大技术研发投入，射频电源制造技术不断提高，产品性能也得到了快速优化。期待在标准的加持下，射频电源制造商能够不断提高产品质量和技术水平，推动国内射频电源市场迎来新的增长。